基于同軸柯勒照明的大變倍比緊湊型顯微鏡設(shè)計(jì)

摘要： 為了實(shí)現(xiàn)大靶面、大變倍比顯微成像并解決同軸柯勒照明高集成度設(shè)計(jì)的問(wèn)題，本文提出了一種基于同軸柯勒照明的大變倍比緊湊型顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法。首先，對(duì)望遠(yuǎn)鏡和顯微鏡連續(xù)變倍光學(xué)系統(tǒng)的成像原理進(jìn)行了分析，并對(duì)正組補(bǔ)償式變倍顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)原理進(jìn)行了理論分析。然后，提出把前固定組分解為準(zhǔn)直組和匯聚組，并在兩鏡組間設(shè)計(jì)分光鏡，并通過(guò)共用透鏡組實(shí)現(xiàn)同軸柯勒照明系統(tǒng)的緊湊型設(shè)計(jì)。最后，... （共11頁(yè)）