大行程位移臺(tái)干涉測(cè)距系統(tǒng)的誤差補(bǔ)償

摘要： 雙頻激光干涉儀作為常用的精密光學(xué)非接觸式測(cè)量設(shè)備，具有精度高、抗干擾能力強(qiáng)、靈活性好等優(yōu)點(diǎn)。然而環(huán)境溫度變化、機(jī)械振動(dòng)等因素可能會(huì)影響其測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，并且影響程度會(huì)隨著測(cè)量光程的增加而增大。針對(duì)基于雙頻激光干涉儀的大行程位移臺(tái)測(cè)距系統(tǒng)，首先研究了位移臺(tái)測(cè)距系統(tǒng)的測(cè)量原理，然后針對(duì)系統(tǒng)存在的各項(xiàng)誤差進(jìn)行了分析和補(bǔ)償，最后，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行綜合誤差補(bǔ)償實(shí)驗(yàn)，短時(shí)間補(bǔ)償量達(dá)到10~(-... （共9頁(yè)）