面向MEMS質譜儀離子源的場發(fā)射針尖陣列研制及性能

摘要： 針對微電子機械系統(tǒng)(MEMS)質譜儀應用中對高工作氣壓和高電子電流的需求，同時保持MEMS技術在體積和質量上的優(yōu)勢，研制了一種用于MEMS質譜儀離子源的基于場發(fā)射原理的針尖陣列。通過MEMS加工技術實現(xiàn)了最大44個/mm~2的針尖密度，并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圓上完成平行批量制造。實驗結果顯示，1 600個針尖組成的陣列在3.4×10^-3Pa氣壓下... （共8頁）