基于卡爾曼濾波的激光外差干涉位移測量誤差補償

摘要： 針對激光外差干涉儀測量過程中測量鏡隨被測對象旋轉而導致的位移測量誤差，提出了一種基于卡爾曼濾波的激光外差干涉位移測量補償方法。根據(jù)測量鏡轉角和測量光束光斑位置變化對應關系，利用位置敏感探測器（PSD）和位置電壓信號卡爾曼濾波方法測得降噪后的光斑位置變化，從而獲得更為準確的轉角測量結果，最后根據(jù)轉角與位移的解耦數(shù)學模型利用測得的轉角進行位移補償。為驗證濾波算法和位移補償方法的可行... （共9頁）