基于二維混合式位置編碼的高精度測角

摘要： 針對具有精密旋轉(zhuǎn)軸系類的高端制造裝備或精密測量儀器，其旋轉(zhuǎn)角度采用傳統(tǒng)圓光柵難以消除偏心誤差對測量角度精度的影響，提出了一種基于二維混合式位置編碼的旋轉(zhuǎn)角度高精度測量方法。該測角系統(tǒng)由一個二維混合式位置編碼盤、兩個CCD相機和遠心鏡頭組成，二維混合式位置編碼盤被固定在精密旋轉(zhuǎn)軸系上以獲得其旋轉(zhuǎn)角度。然后，建立了測角模型并從數(shù)學上證明了測角精度與安裝偏心無關。利用多齒分度臺對已提... （共8頁）