超高精度棱鏡的加工和檢測技術研究

摘要： 棱鏡是空間和軍用白光、紅外光學系統(tǒng)中的關鍵元件之一，能夠在光學系統(tǒng)中實現更高精度的成像質量，故提出了超高精度棱鏡的加工和檢測技術。首先，分析了適用于棱鏡加工的工裝材料及加工方法，指出了超高精度棱鏡加工的難點和關鍵點.然后，介紹了超高精度棱鏡加工的工裝制作、棱鏡粘接、加工、檢測方法，以及預防損害棱鏡工裝的防護措施。最后，通過加工總高為35～95mm的施密特硒化鋅棱鏡，用Zygo干... （共5頁）