基于圖像預(yù)處理的光學(xué)元件表面粗糙度測量系統(tǒng)

摘要： 在測量光學(xué)元件表面粗糙度時，測量結(jié)果往往比較片面，為此設(shè)計基于圖像預(yù)處理技術(shù)的光學(xué)元件表面粗糙度測量系統(tǒng)。獲取原始元件表面粗糙度干涉圖像，通過對表面形貌圖像實施圖像去噪處理與傾斜校正處理獲取濾波結(jié)果，通過自適應(yīng)中值濾波算法實施圖像的去噪處理。在粗糙度參數(shù)評定模塊中，根據(jù)取樣長度對評定長度下定義，實施光學(xué)元件表面粗糙度的全面評定。利用設(shè)計系統(tǒng)測量三種光學(xué)元件的表面粗糙度。實驗結(jié)果... （共5頁）