半球諧振子超精密修調(diào)方法研究

摘要： 目的 研究因諧振子質(zhì)量缺陷而引起的頻率裂解機制，進而對剛性軸位置進行質(zhì)量高分辨率可控去除，提高陀螺精度。方法 首先基于多區(qū)域配合劃分法建立半球諧振子高精度有限元仿真模型，分析質(zhì)量大小與位置對諧振子頻差的影響規(guī)律。其次搭建諧振子振動特性檢測平臺，利用拍頻法實現(xiàn)其頻差值和剛性軸位置的精確辨識。最后結(jié)合仿真與辨識結(jié)果以及離子束加工方法確定諧振子超精密修調(diào)方案。結(jié)果 優(yōu)化網(wǎng)格劃分方法后... （共9頁）