腔室清洗的單臂組合設(shè)備初始暫態(tài)調(diào)度

摘要： 為了提升腔室潔凈度,晶圓廠需對(duì)組合設(shè)備腔室進(jìn)行清洗操作,從而提高晶圓的加工質(zhì)量.考慮腔室清洗時(shí)間和晶圓駐留時(shí)間的約束條件下,本文研究了單臂組合設(shè)備的初始暫態(tài)調(diào)度問(wèn)題.首先,提出了機(jī)械手的初始暫態(tài)活動(dòng)規(guī)則,并對(duì)機(jī)械手活動(dòng)序列進(jìn)行描述,實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的初始暫態(tài)可調(diào)度性;其次,對(duì)機(jī)械手在初始暫態(tài)和穩(wěn)態(tài)的活動(dòng)時(shí)間進(jìn)行了建模;然后,根據(jù)系統(tǒng)的時(shí)間特性,建立了初始暫態(tài)調(diào)度的線性規(guī)劃模型;最后,... （共8頁(yè)）