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一種基于局部間斷Galerkin方法的IC互連線(xiàn)電容提取策略

微電子學(xué) 頁(yè)數(shù): 7 2024-02-20
摘要: 求解橢圓方程的局部間斷Galerkin(LDG)方法具有精度高、并行效率高的優(yōu)點(diǎn),且能適用于各種網(wǎng)格。文章提出采用LDG方法來(lái)求解IC版圖中電勢(shì)分布函數(shù)滿(mǎn)足的Laplace方程,從而給出了一個(gè)提取互連線(xiàn)電容的新方法。該問(wèn)題的求解區(qū)域需要在矩形區(qū)域內(nèi)部去掉數(shù)量不等的導(dǎo)體區(qū)域,在這種特殊的計(jì)算區(qū)域上,通過(guò)數(shù)值測(cè)試驗(yàn)證了LDG方法能達(dá)到理論的收斂階。隨著芯片制造工藝的發(fā)展,導(dǎo)體尺寸和... (共7頁(yè))

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