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基于微區(qū)拉曼法的AlGaN/GaN HEMT溝道溫度測(cè)試研究

中國(guó)測(cè)試 頁(yè)數(shù)： 7 2024-03-26
摘要： 針對(duì)現(xiàn)有溫度測(cè)試技術(shù)難以滿足GaN器件壽命、可靠性以及熱管理控制對(duì)溝道溫度精確評(píng)估的需求，開展基于微區(qū)拉曼法測(cè)定AlGaN/GaN高電子遷移率晶體管(HEMT)的溝道溫度的研究。使用拉曼系統(tǒng)測(cè)量GaN材料的E2聲子頻率特征峰來(lái)確定溝道溫度。通過(guò)使用洛倫茲擬合方法，提高拉曼測(cè)試結(jié)果精度。對(duì)微區(qū)拉曼法和紅外熱成像法測(cè)量器件結(jié)溫進(jìn)行量化研究，器件的直流輸出功率密度分別為6、8、10... （共7頁(yè)）

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