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基于微形變分析的電容式MEMS加速度計(jì)溫漂誤差精密估計(jì)方法

系統(tǒng)工程與電子技術(shù) 頁(yè)數(shù)： 9 2023-12-12
摘要： 針對(duì)傳統(tǒng)的電容式微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system, MEMS)加速度計(jì)(capacitive MEMS accelerometers, CMA)溫漂誤差(temperature drift error, TDE)補(bǔ)償方法存在非精準(zhǔn)溯源TDE致使TDE估計(jì)精度低、反復(fù)嘗試估計(jì)模型構(gòu)型導(dǎo)致構(gòu)建過程復(fù)雜繁瑣的問題，提出基于微形變分析的CMA ... （共9頁(yè)）

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