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高精度NiCr/NiSi薄膜熱電偶高溫測試系統(tǒng)

儀表技術與傳感器 頁數: 6 2024-02-25
摘要: 針對航空發(fā)動機渦輪葉片和燃燒室內壁等高溫惡劣環(huán)境下對溫度測量的迫切需求,提出了一種基于薄膜熱電偶的高精度測溫方法。采用磁控濺射法在SiC襯底上制備了NiCr/NiSi薄膜熱電偶。完成了薄膜熱電偶的設計與制備,并設計了一套高精度溫度數據采集系統(tǒng),主控芯片采用STM32,數據采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,實現(xiàn)了對高溫惡劣環(huán)境下溫度數據的實時采集。結果表明:設計制備的N... (共6頁)

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