三維等靈敏度低耦合彈性機構的設計和優(yōu)化

摘要： 振動對儀器和機床的精度都有較大影響，對其進行準確檢測和分析，是實現振動有效控制的前提。本研究提出了一種高靈敏度和低耦合三維彈性機構及其參數優(yōu)化方法。介紹了三維彈性機構的構型，并通過理論建模、參數優(yōu)化和仿真分析完成了三維彈性機構的設計和優(yōu)化，最后將該彈性機構與高靈敏度、低耦合傳感系統(tǒng)相結合，研制了高性能三維低頻加速度計系統(tǒng)，并實測了加速度計系統(tǒng)的性能參數。根據實驗結果，使用該彈性... （共9頁）