差分式聲表面波溫度應變復合傳感器

摘要： 基于聲表面波理論和微擾理論，提出了并研制由3個諧振器組成的差分式聲表面波溫度應變復合傳感器。通過有限元分析軟件對AT切和XY切的兩種聲表面波諧振器進行了仿真，根據(jù)其頻率-應變響應和頻率-溫度響應，設計并研制了能夠進行溫度補償和應力-應變補償?shù)臏囟葢儌鞲衅鳎瑐鞲衅鞯膽y量靈敏度為100 Hz/με，溫度測量靈敏度為80 kHz/℃。該傳感器成功應用到了隔離開關(guān)的狀態(tài)監(jiān)測?，F(xiàn)場... （共6頁）