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電子致放氣測試裝置的研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報 頁數(shù): 8 2024-02-04
摘要: 材料表面吸附的氣體分子在電子轟擊作用下,會加速釋放到真空系統(tǒng)中。為了測試在電子轟擊下的材料放氣特性,研制了一套電子致放氣的測試裝置。電子束發(fā)生器作為重要的組成部件,具有許多可調(diào)參數(shù),這些參數(shù)會在一定程度上影響輸出的電子束質(zhì)量,進而影響電子致放氣測試結(jié)果。文章首先通過實驗測量了電子束斑和束流的影響因素,結(jié)果表明,聚焦電壓和柵極電壓對束斑的尺寸有直接的影響,而能量電壓對電子束斑直徑...

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