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便攜式分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的性能測試研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁數(shù): 6 2024-03-23
摘要: 文章對新研制的便攜式分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的部分性能進(jìn)行了測試。采用參考電離真空計(jì)測量了裝置的極限真空度;對于流導(dǎo)值在10-2 m~3/s的圓孔型抽氣流導(dǎo)元件,通過精確測量其直徑和厚度的尺寸,采用公式計(jì)算得到分子流條件下的流導(dǎo)值;對于孔徑在微米量級的進(jìn)氣流導(dǎo)元件,采用定容衰減壓力的方法通過實(shí)驗(yàn)測量確定其流導(dǎo)值;采用同一真空計(jì)分別測量抽氣流導(dǎo)元件兩端的氣體壓力獲得返流比。測試...

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