臨界噴嘴在真空泵抽速測(cè)試及計(jì)量中研究和應(yīng)用

摘要： 真空泵抽速測(cè)量有多種方法，其準(zhǔn)確度受到方法、儀表精度等影響。其中定流量法作為其中一種方式，其建立在一元可壓縮流體理論基礎(chǔ)上。文章結(jié)合一元可壓縮流體基礎(chǔ)理論與現(xiàn)有測(cè)試方法，提出將噴嘴臨界狀態(tài)作為定流量法測(cè)量基礎(chǔ)。通過(guò)噴嘴臨界狀態(tài)的出現(xiàn)以及臨界值計(jì)算，作為真空泵流量的測(cè)量方法基準(zhǔn)數(shù)值，測(cè)量過(guò)程中只需要測(cè)定環(huán)境參數(shù)就可以測(cè)定真空泵流量，進(jìn)而計(jì)算真空泵在某規(guī)定壓力下的抽速。該測(cè)量方法裝...