標(biāo)準(zhǔn)真空電饋通微型磁控管真空計及其性能研究

摘要： 目前冷陰極電離真空計在微型真空系統(tǒng)中的應(yīng)用較少，文章對一種磁控管真空計（MMG）進行研究，成功達到了微小尺寸與高真空測量水平同時滿足的目標(biāo)，該MMG體積僅有0.3 cm~3，比目前市售的磁控管真空計小30倍以上，同時由于其連接器設(shè)計使其能夠與標(biāo)準(zhǔn)真空電饋通相適配。用COMSOL模擬了磁控管真空計內(nèi)部電磁場分布與電子運動軌跡，實驗測試得到了MMG在-500～-2500 V電壓下1...