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一種高性能非蒸散型吸氣劑的性能分析

真空科學與技術(shù)學報 頁數(shù): 8 2024-04-25
摘要: 非蒸散型吸氣劑(NEG)是高真空和超高真空系統(tǒng)維持真空度的重要材料,具有高穩(wěn)定性和高氣體吸附性能,文章采用粉末冶金的方法制備出Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸氣劑,并基于小孔流導法搭建了一套吸氣劑性能測試的高真空系統(tǒng),分別測試了氣體種類及工作溫度對吸氣劑性能的影響,實驗結(jié)果表明:Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸氣劑對H2...

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