一種高性能非蒸散型吸氣劑的性能分析

摘要： 非蒸散型吸氣劑（NEG）是高真空和超高真空系統(tǒng)維持真空度的重要材料，具有高穩(wěn)定性和高氣體吸附性能，文章采用粉末冶金的方法制備出Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸氣劑，并基于小孔流導法搭建了一套吸氣劑性能測試的高真空系統(tǒng)，分別測試了氣體種類及工作溫度對吸氣劑性能的影響，實驗結(jié)果表明：Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸氣劑對H₂...