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滑移流區(qū)域梯形微通道內(nèi)氣體熱流逸效應及流動特性

真空科學與技術學報 頁數(shù): 8 2024-03-20
摘要: 努森壓縮機是一種有效的非機械式氣體升壓微泵,在輸送氣體、壓縮氣體等方面具有巨大的應用潛力?;诰哂谢坪吞S邊界條件的納維-斯托克斯方程,建立適應于滑移流區(qū)域梯形微通道內(nèi)氣體流動二維數(shù)值模型。分析了傾角和冷熱腔室溫差對微通道內(nèi)部氣體克努森數(shù)分布、壓升以及流動特性的影響規(guī)律。結(jié)果表明:微通道傾角從0°升高到5.72°,壓升從129.181 Pa降低到48.291 Pa,降低了62...

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