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雙通道放氣率測量裝置器壁放氣動(dòng)態(tài)特性分析與碳化硼放氣率測試

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁數(shù): 6 2024-03-26
摘要: 雙通道法是一種高精度、低檢測下限的材料放氣率測量方法,適用于碳化硼等低放氣率材料。該方法需要先測定測量系統(tǒng)的本底放氣量,即在系統(tǒng)壓力穩(wěn)定后,選取某一時(shí)刻的壓力值計(jì)算后作為本底放氣量。針對(duì)裝置本底放氣量測量,文章基于吸附擴(kuò)散理論,建立了雙通道測量系統(tǒng)的吸附-擴(kuò)散-解離模型,并進(jìn)行了數(shù)值計(jì)算分析,研究了系統(tǒng)本底壓力隨溫度的變化規(guī)律,計(jì)算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)結(jié)果吻合良好。同時(shí),文章對(duì)含B4C樣... (共6頁)

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