基于模態(tài)分析和神經網絡的分子泵故障檢測方法研究

摘要： 分子泵一種基于氣體分子定向運動而產生真空環(huán)境的裝置，在空間環(huán)境模擬等試驗中至關重要，其內部結構精密而復雜，長期使用后可能會產生真空度不足等故障，如何及時準確地診斷分子泵的運行狀態(tài)格外關鍵。文章提出了一種基于模態(tài)分析的降噪技術，并采用神經網絡對采集到的信號數(shù)據(jù)進行故障診斷與識別。實驗結果表明，該方法的平均診斷準確率達到了90.0%，有效地實現(xiàn)了分子泵的故障檢測和狀態(tài)評估。