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基于PECVD技術(shù)的石墨烯可控制備與應(yīng)用:現(xiàn)狀與展望

科學(xué)通報(bào) 頁數(shù)： 13 2024-05-10
摘要： 石墨烯因其優(yōu)異的物理/化學(xué)特性,在眾多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景.為了推動(dòng)石墨烯材料的實(shí)際應(yīng)用,需要尋找穩(wěn)定可靠、可擴(kuò)展和低成本的石墨烯材料制備方法.等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD)技術(shù)是一種借助外加能量輔助反應(yīng)前驅(qū)體裂解產(chǎn)生等離子體,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)石墨烯制備的方法. PECVD技術(shù)在沿襲了傳統(tǒng)化... （共13頁）

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