平面光學元件超平整吸附裝載的優(yōu)化設計與分析
機械工程學報
頁數(shù): 8 2024-03-05
摘要: 在平面光學元件加工和應用中,采用真空吸附方式進行裝載,具有快速、穩(wěn)定的優(yōu)勢,而真空吸附對平面光學元件的面形影響不可忽視。基于有限元分析方法,針對功能窗口限制、倒立裝載等特殊需求,對真空吸盤氣道進行優(yōu)化設計,并通過實驗對真空吸盤的實際效果進行分析。實驗結(jié)果表明,在吸盤不鎖緊狀態(tài)下吸附,平面光學元件在中心Ф10 mm、Ф20 mm和Ф40 mm范圍內(nèi),面形PV分別為1.2 nm、5...