氟等離子體對石墨烯納晶碳膜的刻蝕加工及摩擦學(xué)性能調(diào)控
機(jī)械工程學(xué)報(bào)
頁數(shù): 11 2024-04-12
摘要: 針對石墨烯低摩擦特性在宏觀應(yīng)用中存在的機(jī)械強(qiáng)度低、磨損壽命短等問題,提出采用氟等離子體刻蝕加工調(diào)控石墨烯納晶碳膜以提升其摩擦學(xué)性能。通過表征刻蝕加工對碳膜形貌和結(jié)構(gòu)的影響,提出氟等離子體刻蝕加工機(jī)理包括原子去除和離子注入兩方面。一方面刻蝕加工可通過物理轟擊或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)去除碳膜表面原子,有效降低碳膜表面粗糙度。另一方面刻蝕加工可通過亞表面注入使碳膜表層結(jié)構(gòu)重組,sp~3鍵含量增... (共11頁)