3.2.5 試樣厚度測(cè)定

所屬欄目：電子衍襯

3.2.5 試樣厚度測(cè)定

膜厚是測(cè)量點(diǎn)缺陷和位錯(cuò)密度時(shí),必不可少的數(shù)據(jù)。測(cè)量膜厚的方法很多[9],這里主要介紹幾種常用的方法:1.根據(jù)等厚消光條紋數(shù)進(jìn)行計(jì)算利用等厚消光條紋數(shù)目n和消光距離ξg,借助下述公式可以近似計(jì)算出條紋所在處的試樣厚度t:( ......（本文共 1094 字 , 2 張圖）     [閱讀本文] >>


推薦內(nèi)容


圖片

更多